你知道精密加工(gōng)有幾種分類嗎?
【摘要】:精密加工對工件(jiàn)原料、加工設備、東西、丈量和環境等條件都有特別的要求,需求綜合使用精密機械、精密丈量、精密伺服係(xì)統、計算機控製以及其他先進技術。超精密加工的精度比傳統的(de)精密加工提高了一個以上的數量(liàng)級,除需求選用(yòng)新的加工辦(bàn)法或新的加工機(jī)理之外,對工件原(yuán)料,加工設備、東(dōng)西、丈量和環境條(tiáo)件等都有特別的要求。 |
精密加工(gōng)的精度比傳統的精密加工(gōng)提高了一個以(yǐ)上的數量級。
精密加工對(duì)工件原料、加工設備、東西、丈(zhàng)量和環境等條件都有特別的要求,需求(qiú)綜合使用(yòng)精密機械、精密丈量、精密伺(sì)服係統、計算機控製以及其他先進技術。超精密加工的精度比傳(chuán)統的精密加工提高了一個以上的數量級(jí),除需求選用新的加工辦法或新的加工機理之外,對工件原料,加工(gōng)設備、東西、丈量和環境條件等都有特別的要求。
你知(zhī)道在精密加(jiā)工時有分(fèn)幾種(zhǒng)加工辦法呢?咱們一起來看下吧。
精密(mì)特種加工的加工精度以納米,乃至最終以原子單位(原子晶格間隔為0.1~0.2納米)為目標(biāo)時,切削加工辦法已不能適應,需求借助特種加工的辦法,即使用化學能、電化學能、熱能或電能等,使這些能量逾越原子間的(de)結合能,然後去除工件外表的部分原子間的附著、結合或晶格變形,以到達超精密加工的目的(de)。
例如超大規模集成電路的製版就是選用電(diàn)子束對掩膜上的光致抗蝕劑(見光刻)進行曝射,使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(hé)(或分解),再用顯影劑(jì)把聚合過的或未聚合(hé)過的部分溶解掉,製成掩膜。電子束曝射製版需求選用工作(zuò)台定位精度高達±0.02微米的超精密加(jiā)工設備。
歸於這類加工的有(yǒu)機械化學拋(pāo)光、離(lí)子濺射和離子(zǐ)注入、電子束曝射、激光束加(jiā)工、金屬蒸鍍和分子束外延(yán)等。這些辦法的特點(diǎn)是(shì)對(duì)外表層物質去除或增(zēng)加的量可以作極(jí)纖細的(de)控製。可是要獲得超精(jīng)密的加工精度,仍有賴於精密的加(jiā)工設備和精確的(de)控製係統,並選(xuǎn)用超(chāo)精密掩膜作中介物。
精密切削加工主要有超精密車削、鏡麵磨削和研磨等。在超精密車(chē)床上用經過精密研磨的單晶金剛石車刀(dāo)進行微量(liàng)車削,切削厚度僅1.5微(wēi)米左(zuǒ)右,常用於加工有色金屬材料的球麵(miàn)、非球麵平和麵的反射鏡等高精度、外(wài)表高度光亮的零件。